黄其煜 · 集成电路工艺技术课程设计修读档案

1.前面2周理论，后面5周实验，最后1周大作业，节奏紧凑得像早高峰地铁。 2.如果有洁癖建议别选，实验服的鞋子是混穿的，有的比较脏，穿上就像开盲盒，开到哪双算哪双。 3.不能翘课，实验一般不能缺勤，缺勤等于自爆。 4.实验报告工作量比隔壁的器件测试大一倍不止，写到手抽筋，隔壁可能还在喝奶茶。 5.大作业非常逆天，有点像服从性测试，感觉在给你测忠诚度。 6.助教挺负责，一定程度上体谅学生，同时实验过程也是比较有趣，算是苦中作乐。 被卡ji了，刚好小数点算下来是.4然后四舍五入，卡得比地铁闸机还准。 有点无语😑累半天80几和隔壁水水90+自己选吧，人生就是一道道选择题。

课程内容： 1. 理论部分：安全教育考试、Athena 仿真，听名字很唬人 2. 工艺部分：本人亲自下半导体工艺实验室加工一个肖特基二极管，清洗、氧化、光刻、刻蚀、溅射、剥离、退火一条龙伺候，报告一共四份 3. 大作业：EUV ＋ FDSOI 仿真  上课自由度： 感觉还成，工艺部分分小组操作，大把时间在那闲着，唯一难受的是穿着防护服玩手机不太得劲。基本都提前下课，这点必须给个赞。 考核标准： PPT赫然写着： Attendance 10%; Reports 50%; Lab safety test 15%; Project 25% 授课质量： 黄老师理论部分讲得那叫一个一言难尽，口齿不清还没重点，好在这理论部分本身也没啥用武之地，绝大多数时间都在实验室里泡着，工艺实验室的体验还是可以的，助教相当认真负责。 上面那位说“实验五分钟，报告两小时”的我不敢苟同，现在都大模型时代了，这点玩意随手一糊弄不就完事了。 本来想给五颗星，最后扣了一颗，为啥？因为这个大作业仿真逆天得离谱。这系统是学校找外包做的，Unity出品，卡到 1fps，真不如直接放PPT。一遍流程操作 15 分钟，等虚拟工艺跑完 30 分钟，也就是说做一次至少一个小时起步。然后实验还要求我们调参数！至少得整三四次，谁扛得住？而且只能窝在202机房做，服务器还搭在内网里。这逆天程度媲美某些金课，有过之而无不及。

课程内容：手搓一个肖特基二极管，清洗、氧化、光刻、刻蚀、溅射一条龙，听着像开芯片厂，实际像开洗衣店。 上课自由度：0，实验服往身上一套，人直接变身米其林后厨学徒，有点小烦。 考核标准：一堆破实验报告，堆起来能当防身武器。 授课质量：还行。老师表面看上去很正经，内心跟个小孩似的（无贬义）。助教也比较友善，属于良心NPC。 **实验五分钟，报告两小时**。。。明明就做了那么一点屁事，报告要求却多得像在写毕业论文，要自己写实验原理和实验步骤（不准抄指导书），有好几个思考题，有时还得额外再做仿真。DDL很紧还是早八，一周两次课，就给几天时间，最后两次报告非常重量级，属于副本最终BOSS级别。期末大作业还没做，但看那个视频感觉很逆天，有一种做大雾虚拟实验的美，光看就血压上来了。 做实验其实挺简单的，两人一组跟着助教操作就行，单从实验的角度看这门课还是挺好的，能体验一下基本的工艺流程。但实验报告的工作量有点劝退，属于体验版快乐、正式版地狱。